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SECCIÓN C: INGENIERÍAS

Vol. 5 Núm. 1 (2013)

Extracción de la movilidad de dispositivos MOSFET de silicio en aislante, ultra delgados y agotados completamente

DOI
https://doi.org/10.18272/aci.v5i1.124
Enviado
septiembre 29, 2015
Publicado
2013-04-08

Resumen

En el presente trabajo, se extrae la movilidad de dispositivos MOSFET de silicio en aislante, ultra delgados y agotados completamente, para las configuraciones de compuerta frontal y trasera. Los valores de movilidad fueron encontrados usando las características Capacitancia - Voltaje de Compuerta y Corriente de Drenaje - Voltaje de Compuerta. Adicionalmente, se calcula el máximo de movilidad de electrones para ambas configuraciones: SiON/Si (compuerta frontal) y SiO2/Si (compuerta trasera). En base al pico de movilidad encontrado, se determina que el transporte de electrones puede ser mejorado por un factor 1.6 para la compuerta frontal. Esta mejora se explica por la activación de la compuerta trasera. Por otro lado, en la configuración de compuerta trasera la movilidad de electrones se mejora en un factor 2.5. Un segundo pico puede ser observado en la movilidad de electrones, sin poder ser apreciado con claridad y siendo originado por la presencia de una capacitancia adicional.

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Citas

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